565Mbit／s高速光通信系统用SAWF研制

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

- 565Mbit／s高速光通信系统用SAWF研制
- Design and Fabrication of SAWF for 565Mbit/s High Speed Optical Communication System
- 光通信研究 1994年第Z1期
- 作者机构：
  
  邮电部固体器件研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TN929.11
- 纸质出版日期：1994，
扫描看全文
[1]李涛,梅锁海,刘文.565Mbit／s高速光通信系统用SAWF研制[J].光通信研究,1994(Z1):133-137.

Li Tao, Mei Suohai, Liu Wen. Design and Fabrication of SAWF for 565Mbit/s High Speed Optical Communication System[J]. 1994,(Z1).
[1]李涛,梅锁海,刘文.565Mbit／s高速光通信系统用SAWF研制[J].光通信研究,1994(Z1):133-137. DOI：

Li Tao, Mei Suohai, Liu Wen. Design and Fabrication of SAWF for 565Mbit/s High Speed Optical Communication System[J]. 1994,(Z1). DOI：

本文阐述了６３５．６１６ＭＨｚ窄带ＳＡＷＦ设计特点，并着重对其叉指电极制作中的光刻、刻蚀及膜厚测量等工艺进行了探讨。该ＳＡＷＦ插入损耗小于１５．５ｄＢ，Ｑ值高于６０Ｏ

In this paper

the design features of 635. 616MHz narrow band SAWF is presented

the lithography

dry etching and the film thickness measuring methods during the fabrication process are mainly discussed

the typical characteristics of the filters show the insertion loss less than 15. 5dB

and Q value more than 600.

声表波滤波器叉指电极刻蚀

surface acoustic filterIDTetching

更多指标>

浏览量

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

暂无数据