<

正

>

一、引言达通型硅雪崩光电二极管（Si—RAPD）是一种快速而灵敏的光电检测器。对于短波长（0.85～0.9μm）光纤通讯系统而言

它被公认为是目前最令人满意的接收器件。由于Si材料具有很大的电子—空穴离化比（α/β≈50）

加上相当成熟的Si平面工艺

从理论上讲确实可以保证Si—RAPD同时兼有很低的暗电流(10

-10

A)、高的倍增（大于100）和低的附加噪声。但是由于结构和工艺上的某些原因

实际器件的性能并非那么理想

尤其在兼顾高倍增和低噪声方面仍有工作可做。