制作光纤光栅用相位掩模的衍射行为研究

刘全; 吴建宏; 陈刚; 方玲玲

doi:10.13756/j.gtxyj.2006.03.018

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制作光纤光栅用相位掩模的衍射行为研究

- 制作光纤光栅用相位掩模的衍射行为研究
- Study of diffraction action of phase mask for optical fiber grating fabrication
- 光通信研究 2006年第3期页码：58-60
- 作者机构：
  
  1. 苏州大学信息光学工程研究所
  2. 苏州大学信息光学工程研究所江苏苏州215006
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  江苏省高技术研究计划资助项目（BG2004020）;苏州大学青年教师研究基金资助项目（Q3210525）
- DOI：10.13756/j.gtxyj.2006.03.018
  中图分类号： TN253
- 纸质出版日期：2006，
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[1]刘全,吴建宏,陈刚,方玲玲.制作光纤光栅用相位掩模的衍射行为研究[J].光通信研究,2006(03):58-60.

LIU Quan, WU Jianhong, CHEN Gang, et al. Study of diffraction action of phase mask for optical fiber grating fabrication[J]. 2006,(3):58-60.
[1]刘全,吴建宏,陈刚,方玲玲.制作光纤光栅用相位掩模的衍射行为研究[J].光通信研究,2006(03):58-60. DOI： 10.13756/j.gtxyj.2006.03.018.

LIU Quan, WU Jianhong, CHEN Gang, et al. Study of diffraction action of phase mask for optical fiber grating fabrication[J]. 2006,(3):58-60. DOI： 10.13756/j.gtxyj.2006.03.018.

摘要

利用严格耦合波理论对用于光纤光栅制作的相位掩模的衍射特性进行了深入的研究。研究发现

在紫外写入波长（248 nm）下

为了使零级衍射效率

且±1级的衍射效率

35%

相位掩模的刻槽深度必须控制在230

80 nm

占宽比必须控制在0.48

.65。同时

与标量衍射理论的结果进行了分析对比。这些都为相位掩模的实际制作提供了有意义的结果。

Abstract

The diffraction characteristics of the phase mask for fiber grating fabrication is investigated using rigorous coupled-wave theory.The results show that in order to keep the zero order diffraction efficiency

5% and ±1st order diffraction efficiency

35% at UV-written wavelength of 248 nm

the groove depth and duty cycle of the mask must be controlled within the range of 230

80 nm and 0.48

.65 respectively.This conclusion has been analyzed and compared with that based on scalar diffraction theory.Useful information has been resulted for the practical fabrication of the phase mask.

关键词

相位掩模光纤光栅衍射效率严格耦合波理论

Keywords

phase maskoptical fiber gratingdiffraction efficiencyrigorous coupled-wave theory

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