基于F-P腔的MEMS TOF的波长控制技术

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光电器件研究与应用

- 基于F-P腔的MEMS TOF的波长控制技术
- Wavelength control technology for F-P cavity-based MEMS TOF
- 光通信研究 2009年第6期页码：45-47
- 作者机构：
  
  光纤通信技术和网络国家重点实验室武汉光迅科技股份有限公司
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13756/j.gtxyj.2009.06.021
  中图分类号： TP211.4
- 纸质出版日期：2009，
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[1]辜勇,胡强高,吴晓平,汤风帆.基于F-P腔的MEMS TOF的波长控制技术[J].光通信研究,2009(06):45-47.

Gu Yong, Hu Qianggao, Wu Xiaoping, et al. Wavelength control technology for F-P cavity-based MEMS TOF[J]. 2009,(6):45-47.
[1]辜勇,胡强高,吴晓平,汤风帆.基于F-P腔的MEMS TOF的波长控制技术[J].光通信研究,2009(06):45-47. DOI： 10.13756/j.gtxyj.2009.06.021.

Gu Yong, Hu Qianggao, Wu Xiaoping, et al. Wavelength control technology for F-P cavity-based MEMS TOF[J]. 2009,(6):45-47. DOI： 10.13756/j.gtxyj.2009.06.021.

文章分析了基于法布里-珀罗（F-P）腔技术的微机电系统（MEMS）可调谐光滤波器（TOF）的调谐原理

推导并测试了其波长与温度及波长与电压的关系

提出了温度与电压相结合的波长混合控制技术

实现了1530

560 nm范围内的波长可调的光滤波器。

This paper analyzes the principle of F-P cavity-based MEMS Tunable Optical Filter（TOF）

deduces and tests the relationship between its wavelength and voltage/temperature

presents the wavelength hybrid control technology by temperature and voltage and realizes tunable optical filters within the range of 1 530

560 nm.

F-P腔微机电系统温度控制波长控制

F-P cavityMEMStemperature controlwavelength control

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